[发明专利]硅基光通信C波段高线性面发射激光光源及其制作方法

摘要

本发明涉及一种硅基光通信C波段高线性面发射激光光源，包括左激光芯片、右激光芯片和二阶光栅波导；所述二阶光栅波导两侧设置有喇叭口波导；所述左激光芯片、右激光芯片分别与二阶光栅波导两侧设置的喇叭口波导相连。本发明采用P面朝下生长的方法解决了常规激光器通过表面发热困难的问题，激光器量子阱发热直接通过衬底进行导热，有效改善激光器的高温线性度和特征温度；采用绝缘的掺Fe InP实现脊条型的电注入区域，并实现相邻激光芯片的电隔离，但光学上又相互耦合形成相干光，左右激光芯片实现激光器有效增益体积的增大，有效提高输出光功率。