[发明专利]一种穆勒矩阵检测装置的校准方法

摘要

本发明公开了一种穆勒矩阵检测装置的校准方法，包括以下步骤：S1建立入射光分别倾斜射入至穆勒矩阵检测装置的第一波片和第二波片表面时的相位延迟扰动理论模型，以建立光强值与误差项的关系模型；S2用所述穆勒矩阵检测装置测量标准样品的光强值I；S3将步骤S2获得的所述标准样品的光强值I和已知的所述标准样品的穆勒矩阵式Msample代入方程组；S4通过数值校准法求解光强值与误差项的关系模型中的所有误差x1、x2、x3、x4、x5、x6、x7、x8和x9的值；S5根据步骤S4求解得出的所有误差的值，对所述穆勒矩阵检测装置原仪器矩阵F进行校准，重新建构校准仪器矩阵F’。本发明的校准方法具有操作简单，方便可靠，测量速度快，精度高等特点。