[发明专利]一种旋转靶材的清洗包装方法在审
| 申请号： | 202110564460.7 | 申请日： | 2021-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN113291553A | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;赵丽;张光辉 | 申请（专利权）人： | 广东江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B65B55/24 | 分类号： | B65B55/24;B65B31/02;C23G5/032 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 516001 广东省惠州市惠州仲恺高新区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种旋转靶材的清洗包装方法，所述清洗包装方法包括：采用净化布清洗旋转靶材的内壁；依次采用纳米海绵和净化布清洗旋转靶材的表面；采用膜贴附于旋转靶材的表面，并放置于包装袋中；采用惰性气体置换包装袋中的空气，所述清洗方法成本低，对人体和环境的危害小，清洗包装后旋转靶材洁净度合格，延长了旋转靶材的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 清洗 包装 方法 | ||
【主权项】：
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