[发明专利]一种ITO靶材废靶循环利用方法在审
| 申请号： | 202110564896.6 | 申请日： | 2021-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN113387682A | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 曾墩风;王志强;石煜;陶成 | 申请（专利权）人： | 芜湖映日科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/453;C04B35/622;C04B35/626 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 杨静 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市中国(安徽)自*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种ITO靶材废靶循环利用方法，通过将ITO废靶放入汽化炉内，将炉内温度呈梯度升高至4000‑5000℃，0‑30min升温至500℃，在此温度下放入ITO废靶，之后保温，30‑40min升温至3000℃，40‑60min升温至4000‑5000℃，之后保温，直至ITO废靶全部汽化，最后在氮气气氛下冷却，得到纯度4N，比表面6‑8的ITO粉末，再进行球磨、冷等静压、烧结、机加工、绑定，最终得到ITO靶材，这样采用梯度升温，在升温至500℃时放入废靶，再升温至4000‑5000℃，可以对废靶完全汽化，很好的控制废靶全部汽化，制得的ITO粉纯度高，废靶利用效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ito 靶材废靶 循环 利用 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于芜湖映日科技股份有限公司，未经芜湖映日科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110564896.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
