[发明专利]一种基于SCR的新型凹槽结构ESD防护器件有效
| 申请号： | 202110567378.X | 申请日： | 2021-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN113421925B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 刘静;党跃栋;刘纯 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | H01L29/74 | 分类号： | H01L29/74;H01L29/06;H01L27/02 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 戴媛 |
| 地址： | 710048 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了基于SCR的新型凹槽结构ESD防护器件，包括衬底，衬底上形成n阱区和p阱区，n阱区的右侧与p阱区的左侧相连，n阱区上从左至右形成n阱接触n+区、p+区，p阱区上从左至右形成n+区、p阱接触p+区，n阱接触n+区接阳极电位，n+区接阴极电位，p阱接触p+区接阴极电位，p+区接阳极电位，n阱区的左上角形成第一隔离槽，n阱区上且位于n阱接触n+区和p+区之间形成第二隔离槽，n阱区和p阱区之间形成第三隔离槽，p阱区上且位于n+区和p阱接触p+区之间形成第四隔离槽，p阱区的右上角形成第五隔离槽，第三隔离槽中填充有凹槽，凹槽接阳极电位。本发明防护器件具有维持电压高、触发电压低的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 scr 新型 凹槽 结构 esd 防护 器件 | ||
【主权项】：
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