[发明专利]转动机构及其真空镀膜机在审
| 申请号： | 202110568577.2 | 申请日： | 2021-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN113278944A | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 曾妩;徐鹏;马敬忠 | 申请（专利权）人： | 深圳市鼎信表面处理科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京中仟知识产权代理事务所(普通合伙) 11825 | 代理人： | 周庆佳 |
| 地址： | 518104 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及真空镀膜技术领域，特别是涉及转动机构及其真空镀膜机。真空镀膜机的转动机构，用于带动待镀膜件相对靶面运动，待镀膜件具有相邻设置的第一边和第二边，第一边的长度大于第二边的长度；转动机构包括驱动件、传动单元、主动自转单元以及从动自转单元，驱动件连接于传动单元；主动自转单元包括第一转轴及第一椭圆形齿轮，从动自转单元包括第二转轴及第二椭圆形齿轮，第一转轴与传动单元配合，第一椭圆形齿轮固定于第一转轴，第二椭圆形齿轮固定于第二转轴并用于承载待镀膜件，第二椭圆形齿轮和第一椭圆形齿轮啮合。一种真空镀膜机包括上述转动机构。本发明的优点在于：待镀膜件外表面的沉积膜层均匀且无色差、性能一致性好。 | ||
| 搜索关键词： | 转动 机构 及其 真空镀膜 | ||
【主权项】：
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