[发明专利]一种半导体铝合金零部件用超高洁净处理装置有效
申请号: | 202110569287.X | 申请日: | 2021-05-25 |
公开(公告)号: | CN113319056B | 公开(公告)日: | 2022-11-18 |
发明(设计)人: | 谢丽鹏 | 申请(专利权)人: | 浙江宇谦半导体科技有限公司 |
主分类号: | B08B3/10 | 分类号: | B08B3/10;B08B3/14;B01D29/64;C02F9/04;C02F9/02;F26B21/00 |
代理公司: | 杭州君和专利代理事务所(特殊普通合伙) 33442 | 代理人: | 包雪雷 |
地址: | 314000 浙江省嘉兴市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种半导体铝合金零部件用超高洁净处理装置,包括支撑板,所述支撑板顶面固定连接有安装板,所述安装板侧壁开设有通孔,所述通孔内活动连接有清理筒,所述清理筒侧壁开设有四个通槽,所述清理筒侧壁内开设有导流槽,所述清理筒侧壁开设有若干个出水孔,所述安装板顶面设置有清理机构,所述支撑板顶面固定连接有固定板,现有技术中对铝合金零件的表面清洁装置在使用时,大多数不能很好的将零件夹角和四角处进行清理,存在清理不彻底的情况,并且不能对清洁液进行过滤和循环利用,从而导致清理效果差和利用效果低。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 铝合金 零部件 超高 洁净 处理 装置 | ||
【主权项】:
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