[发明专利]一种提取激光等离子体轮廓的系统及方法有效
| 申请号： | 202110569877.2 | 申请日： | 2021-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN113358272B | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 袁欢;柯伟;王小华;杨爱军;刘定新;荣命哲 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京前审知识产权代理有限公司 11760 | 代理人： | 张波涛;陈旭 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本公开揭示了一种提取激光等离子体轮廓的系统，包括：等离子体产生单元，通过发送激光脉冲沿第一光路传输并照射真空腔产生等离子体；成像单元，用于捕捉沿第一光路返回并继续沿第二光路传输的等离子体，以获得第一激光等离子体图像；图像处理单元，用于对所述第一激光等离子体图像进行处理，以获得第二激光等离体子图像，并从第二激光等离子体图像中提取激光等离子体的轮廓。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提取 激光 等离子体 轮廓 系统 方法 | ||
【主权项】：
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