[发明专利]一种声表面波谐振器及其制备方法有效
| 申请号： | 202110573352.6 | 申请日： | 2021-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN113300683B | 公开（公告）日： | 2023-03-10 |
| 发明（设计）人： | 欧欣;周鸿燕;张师斌;郑鹏程;张丽萍 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/25 |
| 代理公司： | 上海泰博知识产权代理有限公司 31451 | 代理人： | 钱文斌 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种声表面波谐振器及其制备方法，所述声表面波谐振器包括：衬底结构；压电薄膜，形成于所述衬底结构上表面；叉指电极，嵌埋于所述压电薄膜中；其中，所述压电薄膜的厚度大于所述叉指电极的厚度，且所述压电薄膜的电极嵌入面与所述衬底结构接触。通过本发明提供的声表面波谐振器及其制备方法，解决了现有声表面波谐振器工作频率低，无法满足5G通信需求的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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