[发明专利]一种介稳态控制制备金刚石的方法有效
| 申请号： | 202110574749.7 | 申请日： | 2021-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN113026001B8 | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 王涛;魏远征;张雪梅;吴剑波;朱长征;徐念;龚闯;王箫 | 申请（专利权）人： | 上海征世科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/52 | 分类号： | C23C16/52;C23C16/27;C23C16/50;C23C16/46 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 汪青;向亚兰 |
| 地址： | 200000 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种介稳态控制制备金刚石的方法，该方法采用等离子体化学气相沉积法，在沉积台上进行沉积形成金刚石；其中，该制备方法包括设置温度控制系统，以及利用温度控制系统控制沉积过程中沉积台下方的温度自上而下按照设定的梯度递减，以及使得沉积台在沿沉积面延伸方向上的温度的变化低于5摄氏度；本发明方法通过对金刚石沉积过程尤其是沉积界面能量的精准控制，实现了金刚石的定向、定型且高质量的稳定生长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 稳态 控制 制备 金刚石 方法 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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