[发明专利]具有线型探针的探针头在审
申请号: | 202110574775.X | 申请日: | 2021-05-25 |
公开(公告)号: | CN113721051A | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
发明(设计)人: | 陈子扬;林进亿;巫晨睿;林圣瑜;徐铭达;韦嘉茹 | 申请(专利权)人: | 旺矽科技股份有限公司 |
主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人: | 陈晓庆 |
地址: | 中国台湾新*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明涉及一种探针头,包含有上、下导板单元,以及一穿过上、下导板单元而能定义出针尾、针身及针头的线型探针,上导板单元的一第一下表面与下导板单元的一第二上表面相对而定义出一内部空间,线型探针能沿一宽度轴而定义出正面及背面宽度,针身位于内部空间且包含有复数区段,各区段的正面宽度大于或等于背面宽度,针身的最窄段的上、下端分别与第一下表面及第二上表面有一距离,线型探针的针头及针尾沿二水平轴地相互错位而使针身弯曲;由此,本发明具有容易制造、成本较低的线型探针并利于控制其力学行为,且探针材料有较多变化。 | ||
搜索关键词: | 具有 线型 探针 | ||
【主权项】:
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