[发明专利]一种三轴MEMS电容式加速度传感器及其制作方法在审
| 申请号： | 202110578087.0 | 申请日： | 2021-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN113176423A | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 张晓桐;张松;王大宇 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十四研究所 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/18;B81B7/02;B81C1/00;B81C3/00 |
| 代理公司： | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人： | 王文庆 |
| 地址： | 050081 河北省石*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三轴MEMS电容式加速度传感器及其制作方法，属于微机电系统技术领域。其包括用于检测x方向上加速度的上层结构、用于检测z方向上加速度的中层结构和用于检测y方向上加速度的下层结构；上层结构和下层结构均构成梳齿型倍增电容加速度传感器，分别由动电极及定电极组成；中层结构构成三明治式差分电容加速度传感器，包括上、下级板和质量块。本发明具有电容正对面积大、量程大、灵敏度高、可靠性高、集成度高、成本低、噪声低、性能稳定等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 电容 加速度 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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