[发明专利]硅基谐振式传感器温度稳定性提升方法、系统、设备及存储介质有效
| 申请号： | 202110578205.8 | 申请日： | 2021-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN113343520B | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 崔健;赵前程;刘梦霞 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G06F30/23 | 分类号： | G06F30/23;G06F119/08 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 苟冬梅 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供一种硅基谐振式传感器温度稳定性提升方法、系统、设备及存储介质，涉及微机电传感器技术领域，采用本申请提供的硅基谐振式传感器温度稳定性提升方法，按照晶向角优化步长增加谐振式传感器的晶向角进行搜索，对于每一次搜索，在多个测试温度下对所述谐振式传感器进行模态仿真，获取在该晶向角下的谐振频率温度变化量，搜索完成后汇总谐振频率温度变化量找到最优晶向角。本申请可以高效、便捷地确定使硅谐振式传感器频率温度漂移最小的加工晶向，提升传感器的温度稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振 传感器 温度 稳定性 提升 方法 系统 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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