[发明专利]气体质量流量控制器和气体质量流量控制方法有效
| 申请号： | 202110579201.1 | 申请日： | 2021-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN113324605B | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 何漫丽;牟昌华;苏乾益 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创流量计有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/86 | 分类号： | G01F1/86 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京市北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供的气体质量流量控制器和气体质量流量控制方法，其流量传感器用于实时检测气体通道中的气体流量值；流量调节阀用于调节气体通道中的气体流量；压力传感器用于实时检测气体通道中指定位置处的气体压力值；温度传感器用于实时检测在气体通道的入口处的气体温度值；控制单元用于根据气体压力值、气体温度值和设定流量值，以及预先存储的气体流量与驱动参数在不同的气体压力和气体温度下的对应关系，获得驱动参数的输出值，并将输出值输出至流量调节阀，以控制流量调节阀开启与输出值对应的阀门开度。本发明实施例提供的气体质量流量控制器，可以实现气体流量控制的快速响应，并实现气体流量快速达到稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 质量 流量 控制器 控制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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