[发明专利]一种氯硅烷体系微量硼、磷杂质的吸附方法在审
| 申请号： | 202110581523.X | 申请日： | 2021-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN113603096A | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 华超;王红星;陈锦溢;白芳;陆平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院过程工程研究所 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京精金石知识产权代理有限公司 11470 | 代理人： | 姜艳华 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种氯硅烷体系微量硼、磷杂质的吸附方法，包括以下步骤：一种由固体吸附材料负载离子液体的复合材料，是将固体吸附材料作为支撑载体，将其与离子液体或者有机溶剂按比例混合均匀，进行研磨；所得混合物进行真空加热干燥，得到以多孔材料为支撑载体的复合材料；所得复合吸附材料填充于吸附柱中，在高纯氮气下，将一定温度、压力的氯硅烷通入吸附柱；吸附柱出口收集处理后的氯硅烷，得到提纯后的氯硅烷；复合吸附材料在一定温度、压力下进行气体吹扫，进行脱附回收。本发明的硼、磷微量杂质吸附剂实现了氯硅烷体系中存在的微量硼、磷杂质的高效吸附；不经过高温处理，能耗低，工艺简单；吸附剂循环利用，生产过程中废物排放少，避免了环境污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅烷 体系 微量 杂质 吸附 方法 | ||
【主权项】：
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