[发明专利]一种微孔内材料固液换流装置及方法在审

专利信息
申请号: 202110581806.4 申请日: 2021-05-24
公开(公告)号: CN113372502A 公开(公告)日: 2021-09-10
发明(设计)人: 牛万灏;陈小明;王春江;王硕邦;邵金友;徐超凡;李祥明;陈小亮 申请(专利权)人: 西安交通大学
主分类号: C08F271/02 分类号: C08F271/02;C08F220/54;C08F220/14;C08F2/48;B33Y80/00
代理公司: 西安智大知识产权代理事务所 61215 代理人: 弋才富
地址: 710049 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 一种微孔内材料固液换流装置及方法,(1)制备所需二维的光刻微沟道模具、三维结构的可溶性树脂模具或PDMS模具;(2)使用模具完成微孔结构的成型;(3)定性分析二维、三维模具表面属性及使用的溶解液属性,进行界面及环境调控,PDMS模具不需要调控;(4)将模具置于强制对流装置内;(5)启动强制对流装置,待过滤室内溶液中可溶性材料浓度下降至设置阈值时停止工作,完成微孔内的固液换流。根据微孔内固液界面属性、固液换流环境进行调控,设计一套高效率的强制对流装置,以解决微孔结构内材料溶解困难、典型微纳加工结构件溶解质量受结构开敞性与溶解面制约、三维微孔结构中的可溶性光敏树脂溶解效率低、溶解速率慢等问题。
搜索关键词: 一种 微孔 材料 换流 装置 方法
【主权项】:
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