[发明专利]一种微孔内材料固液换流装置及方法在审
申请号: | 202110581806.4 | 申请日: | 2021-05-24 |
公开(公告)号: | CN113372502A | 公开(公告)日: | 2021-09-10 |
发明(设计)人: | 牛万灏;陈小明;王春江;王硕邦;邵金友;徐超凡;李祥明;陈小亮 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | C08F271/02 | 分类号: | C08F271/02;C08F220/54;C08F220/14;C08F2/48;B33Y80/00 |
代理公司: | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人: | 弋才富 |
地址: | 710049 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 一种微孔内材料固液换流装置及方法,(1)制备所需二维的光刻微沟道模具、三维结构的可溶性树脂模具或PDMS模具;(2)使用模具完成微孔结构的成型;(3)定性分析二维、三维模具表面属性及使用的溶解液属性,进行界面及环境调控,PDMS模具不需要调控;(4)将模具置于强制对流装置内;(5)启动强制对流装置,待过滤室内溶液中可溶性材料浓度下降至设置阈值时停止工作,完成微孔内的固液换流。根据微孔内固液界面属性、固液换流环境进行调控,设计一套高效率的强制对流装置,以解决微孔结构内材料溶解困难、典型微纳加工结构件溶解质量受结构开敞性与溶解面制约、三维微孔结构中的可溶性光敏树脂溶解效率低、溶解速率慢等问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 微孔 材料 换流 装置 方法 | ||
【主权项】:
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