[发明专利]金属导电薄膜的制备方法、薄膜晶体管以及显示装置在审
| 申请号： | 202110582239.4 | 申请日： | 2021-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN113421916A | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 刘重阳;袁海江 | 申请（专利权）人： | 重庆惠科金渝光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/40 | 分类号： | H01L29/40;H01L29/417;H01L29/423;H01L29/786 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 晏波 |
| 地址： | 400000 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种金属导电薄膜的制备方法、薄膜晶体管以及显示装置，所述制备方法包括以下步骤：在反应腔室内提供基板；在所述基板上依次沉积第一沉积层、第二沉积层，以形成叠层镀膜；对所述叠层镀膜进行蚀刻处理，得到金属导电薄膜；其中，所述第一沉积层为钼层，所述第二沉积层为铝层时，在沉积所述第一沉积层时向所述反应腔室中通入氮气，且氮气通入量V |
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| 搜索关键词： | 金属 导电 薄膜 制备 方法 薄膜晶体管 以及 显示装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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