[发明专利]一种加工具有多个数值孔径的微透镜阵列的方法有效
| 申请号： | 202110582346.7 | 申请日： | 2021-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN113296175B | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 姜澜;刘洋;李晓炜 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00;G02B27/00 |
| 代理公司： | 北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙) 11639 | 代理人： | 邬晓楠 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种加工具有多个数值孔径的微透镜阵列的方法，属于激光应用技术领域。本发明的目的是为了解决传统平面微透镜阵列只具备单一NA值，且加工方法效率低下、加工难度大的问题；该方法通过对高斯型飞秒激光空间整形得到多个贝塞尔光束，以此对玻璃样品进行改性，利用贝塞尔相位中不同锥底角产生的贝塞尔区域长度不同这一规律，在同一个样品上单次曝光即可实现不同的改性深度，之后利用氢氟酸对改性后的样品进行刻蚀，得到具有多个NA值、高表面质量的微透镜阵列。该方法兼顾高加工质量、高加工效率、高形貌可控性、加工后微透镜NA值调节范围大，满足微透镜阵列应用中对NA值的不同需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加工 具有 数值孔径 透镜 阵列 方法 | ||
【主权项】：
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