[发明专利]一种内嵌流道式微悬臂梁传感器及检测方法有效
| 申请号： | 202110582375.3 | 申请日： | 2021-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN113295321B | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 郝秀春;何山;李虹霞;李鑫 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 212013 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种内嵌流道式微悬臂梁传感器及检测方法，涉及到MEMS领域。区别与传统内嵌沟道式微悬臂梁，本发明中的内嵌细长流道需要安置在贴近悬臂梁上表面的位置，并且远离梁的中性面，同时横跨应变最为显著的区域，以确保在悬臂梁形变时，流道的流阻变化显著。同时微流道内维持恒定体积流速的流体通过，在悬臂梁形变发生时通过压力传感器测量流道上下游的压力差，可以计算出悬臂梁受到的载荷。本发明通过内嵌流道将悬臂梁的形变量首先转化为流阻变量化，进而在流体的上下游形成变化的压力差，最后通过压力传感器转化为电学量，避免了传统悬臂梁检测方法中将传感器敏感结构安置在悬臂梁表面时固有的缺陷，提高了微悬臂梁传感器的稳定性与可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 内嵌流道 式微 悬臂梁 传感器 检测 方法 | ||
【主权项】：
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