[发明专利]一种制备Topcon太阳能电池的设备及其工艺在审
| 申请号： | 202110585434.2 | 申请日： | 2021-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN113445050A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 李长江;周文彬;杨星 | 申请（专利权）人： | 苏州晟成光伏设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C28/04 | 分类号： | C23C28/04;C23C16/40;C23C16/455;C23C16/54;C23C14/18;C23C14/56;H01L31/20 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 赵利娟 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制备Topcon太阳能电池的设备及其工艺，该种制备Topcon太阳能电池的设备及其工艺包括依次连接的载入腔、第一工艺腔、隔离腔、第二工艺腔和载出腔，相邻两腔体通过阀门连接，载有硅片的托盘在传输滚轮上传输，所述载入腔可以采用红外灯管对托盘和硅片进行预加热或在载入腔后增设预热腔，所述第一工艺腔采用空间ALD镀膜方式实现SiO2膜层的制备；所述第二工艺腔采用PVD镀膜方式或采用低损伤PVD镀膜方式与直接式PVD镀膜方式相结合的方式来制备Topcon太阳能电池的掺杂非晶/微晶硅膜层。通过上述方式，本发明保证了超薄SiO2膜层对膜层品质和均匀性的要求，避免了绕镀问题，减少了对SiO2层的离子损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 topcon 太阳能电池 设备 及其 工艺 | ||
【主权项】：
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