[发明专利]一种超表面谐振增强窄带光电探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种超表面谐振增强窄带光电探测器及其制备方法，属于微纳光学和窄带光电探测器领域。本发明通过调整介质超表面反射镜的横向参数，能够在不改变其余的参数条件下调整探测器的响应波长，同时集成多个波长的窄带探测单元，每一种窄带探测单元只对特定波长电磁波有较高的响应度，对其他波长的入射光响应度较低，从而实现窄带多色探测。本发明的窄带光探测器具有较好的角度稳定性，当入射角度小于20°，窄带光电探测器对TM偏振态的峰值响应波长不发生改变；超表面反射镜的几何参数满足米氏谐振条件，使其对入射角度变化引入的光程相位变化有补偿效应，从而使谐振增强窄带探测器对TE偏振态的峰值响应波长的角度敏感性较小。