[发明专利]一种二维线性运动平台垂直度的测量方法有效
| 申请号： | 202110585976.X | 申请日： | 2021-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN113310434B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 王亮亮;商正君;杨美婷;杨静;董姗;赵建海;于涌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海天文台 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;G01B11/30;G01B11/27 |
| 代理公司： | 南京业腾知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32321 | 代理人： | 缪友益 |
| 地址： | 200030*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种二维线性运动平台垂直度的测量方法，包括线性运动平台、第一准直组件、第二准直组件和反射镜，以测量线性运动平台X方向的运动误差为例，将第一半导体激光器沿X方向运动，光束经准直、分光、折转、二次分光和聚焦等操作后，其中一路的光束以会聚像点方式入射至第二CCD器件，另外一路以平行于光轴方式入射至第二四象限光电探测器，利用第二CCD器件上像点的位移偏差和第二四象限探测器上光束中心的位置偏差，计算得出测量点的角度、直线度和平面度的误差信息，Y方向也按上述步骤完成测量，并利用两轴的直线度测量结果计算出二维线性运动平台的垂直度误差。本发明无需使用干涉仪等测量仪器，节约成本，并提高了整体测量效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二维 线性 运动 平台 垂直 测量方法 | ||
【主权项】：
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