[发明专利]变油膜厚度的竖直静压滑台工作性能预测与控制方法、系统有效
| 申请号： | 202110586402.4 | 申请日： | 2021-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN113311710B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 李蓓智;董婉娇;杨建国;郭立杰;黄顺舟;董丰波 | 申请（专利权）人： | 东华大学;上海航天设备制造总厂有限公司 |
| 主分类号： | G05B13/04 | 分类号： | G05B13/04 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 蓝晓玉 |
| 地址： | 201620 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于静压滑台控制技术领域，公开了一种变油膜厚度的竖直静压滑台工作性能预测与控制方法、系统，构建考虑实际工况的变油膜厚度薄膜式静压支承设计模型，反映油膜厚度的微量变化；构建竖直静压滑台工作性能的预测模型以及综合静压滑台承载力、静刚度、动刚度、快速响应时间和温度影响的油膜厚度微量变化预测模型；基于构建的模型确定变油膜厚度的竖直静压滑台达到最优工作性能的条件；基于确定的条件构建基于等效油膜厚度、供油压力、封油边尺寸和流量比的超精密竖直静压滑台的精度控制模型，进行竖直静压滑台控制。本发明能够有效提高静压滑台的刚性、抗振性，降低响应时间，减少温度波动。 | ||
| 搜索关键词： | 油膜 厚度 竖直 静压 工作 性能 预测 控制 方法 系统 | ||
【主权项】：
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