[发明专利]一种micro-LED显示器件及其制备方法在审
| 申请号： | 202110586828.X | 申请日： | 2021-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN113328014A | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 田朋飞;袁泽兴;崔旭高;顾而丹 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/06;H01L33/12;H01L33/32;H01L27/15 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 包姝晴;贾慧琴 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种micro‑LED显示器件及其制备方法，所述制备方法包括：提供衬底，在所述衬底上依次生长U‑GaN缓冲层和n‑GaN层；生长若干发光元件；及后处理；生长发光元件的步骤包括：沉积：在所述n‑GaN层上沉积介电材料，形成钝化层；涂覆光刻胶层，覆盖所述钝化层；清除：对光刻胶层光刻处理，形成若干孔，作为外延区；刻蚀所述外延区内的介电材料；清除剩余光刻胶层；生长：在所述外延区内，生长若干发光元件；循环上述沉积‑清除‑生长步骤，依次分别获得若干第一发光元件、第二发光元件和第三发光元件。本发明提供的方法成本低、可靠性高、稳定性高，能够实现micro‑LED显示器件的大规模批量化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 micro led 显示 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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