[发明专利]刻蚀用组合物及其使用方法在审
| 申请号： | 202110589162.3 | 申请日： | 2021-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN113322071A | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 周永平;任德营;杨永刚;宋冬门;陈嘉泽;张丝柳 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C09K13/08 | 分类号： | C09K13/08;H01L21/311;H01L27/11556;H01L27/11582 |
| 代理公司： | 北京海智友知识产权代理事务所(普通合伙) 11455 | 代理人： | 吴京顺 |
| 地址： | 430000 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种刻蚀用组合物及其使用方法。该组合物包括氢氟酸和水，其中，水与氢氟酸的体积比为3000：1至6000：1。该组合物能够相对于氧化物材料刻蚀氮化物材料。通过调节该组合物中水与氢氟酸的体积比，可以任意调节氮化物材料的刻蚀率和氧化物材料的刻蚀率。使用该组合物相对于氧化物材料刻蚀氮化物材料可以降低对氧化物材料的不良影响。 | ||
| 搜索关键词： | 刻蚀 组合 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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