[发明专利]一种高纯钽旋转靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202110590202.6 | 申请日： | 2021-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN113308671A | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 原慷;彭浩然;张鑫;颜正;庞小肖;许贞元;卢晓亮 | 申请（专利权）人： | 矿冶科技集团有限公司;北矿新材科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C4/134;C23C4/08;B22F9/14;B22F1/00;C23C4/14;C23C4/16 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;李闯 |
| 地址： | 100160 北京市丰台区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高纯钽旋转靶材及其制备方法，该制备方法是采用感应等离子球化工艺制备出高纯球形钽粉，然后以所述高纯球形钽粉为喷涂原料，采用低压等离子喷涂工艺在旋转基体表面制备出高纯钽涂层，从而即制得高纯钽旋转靶材。本发明不仅工艺难度小，不受旋转基体材质、尺寸限制，大大提高了钽旋转靶材喷涂适用性，而且容易通过调节喷涂时间对旋转靶材厚度精确控制，无需复杂的后热处理工艺，旋转靶材成品率极高，降低了旋转靶材的制造难度和制造成本。本发明所制得的高纯钽旋转靶材具有纯度高、氧含量低、涂层厚度均匀可控、致密度高的特点，适用于高纯钽溅射薄膜的制备应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 旋转 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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