[发明专利]陶瓷件制作方法及陶瓷件有效
申请号: | 202110590905.9 | 申请日: | 2021-05-28 |
公开(公告)号: | CN113146483B | 公开(公告)日: | 2023-01-17 |
发明(设计)人: | 郑健飞;王宏伟;符雅丽;郑友山 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | B24C1/08 | 分类号: | B24C1/08;B28B3/00;B28B11/08 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;王婷 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种陶瓷件制作方法及由该方法制成的陶瓷件,其包括以下步骤:S1、将由陶瓷粉粒压制成的陶瓷胚料切制成陶瓷胚体;S2、通过喷嘴向所述陶瓷胚体的待处理表面喷射喷砂材料,同时控制所述喷嘴与所述陶瓷胚体作相对运动;循环执行步骤S2至少两次,以使所述喷砂材料减少所述待处理表面上的损伤;S3、对所述陶瓷胚体进行烧结,以得到陶瓷件。本发明提供的陶瓷件制作方法及陶瓷件,能够减少陶瓷件在实际应用中颗粒掉落现象的发生。 | ||
搜索关键词: | 陶瓷 制作方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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