[发明专利]一种改善晶圆边缘碎裂的削边装置在审
| 申请号： | 202110591637.2 | 申请日： | 2021-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN113400131A | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 邢春晓;沈黎艳 | 申请（专利权）人： | 力成科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/06 | 分类号： | B24B9/06;B24B41/06;B24B41/00;B24B41/02;B24B47/04;H01L21/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345 | 代理人： | 丰叶 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种改善晶圆边缘碎裂的削边装置，包括底板，所述底板左侧固定连接有侧板，所述侧板顶部固定连接有水平向右侧伸出顶板，所述底板上方通过下连接座转动连接有下转盘，所述顶板上滑动连接有上连接座，所述上连接座的下端面上转动连接有上转盘，所述顶板上固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的伸缩杆末端与上转盘固定连接，所述顶板的右侧固定连接有安装板，所述安装板上滑动连接有活动板，所述活动板上固定连接有电机，所述电机的输出轴末端固定连接有金刚石砂轮，所述活动板与安装板之间设置有位置调节装置。本发明设计合理，操作便捷，有效避晶圆边缘碎裂状况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改善 边缘 碎裂 装置 | ||
【主权项】：
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