[发明专利]一种电容式湿度传感器及其制作方法在审
| 申请号： | 202110592227.X | 申请日： | 2021-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN113340950A | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 苏州锐光科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 深圳市兴科达知识产权代理有限公司 44260 | 代理人： | 徐民奎 |
| 地址： | 215211 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电容式湿度传感器及其制作方法，具体涉及湿度传感器技术领域，所述的电容式湿度传感器采用下至上依次设置的衬底、绝缘层、底部电极层、湿敏材料层和上电极层，所述底部电极层的端部边缘处刻蚀出底电极焊盘，所述上电极层的端部边缘处刻蚀出上电极焊盘，所述湿敏材料层采用蛇形排布结构。本发明采用湿敏材料蛇形凸起结构设计，加大外界空气与湿敏材料的接触面积，提高湿敏材料吸湿和脱湿的速度，从而提高湿度传感器的灵敏度、降低响应时间及降低回滞特性，进而满足更高精度的测试要。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容 湿度 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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