[发明专利]晶圆的检测方法及系统在审
申请号: | 202110592570.4 | 申请日: | 2021-05-28 |
公开(公告)号: | CN113222967A | 公开(公告)日: | 2021-08-06 |
发明(设计)人: | 谢真良;谭伟良;李诗琪;陈金星 | 申请(专利权)人: | 长江存储科技有限责任公司 |
主分类号: | G06T7/00 | 分类号: | G06T7/00;G06K9/46;G06K9/62 |
代理公司: | 北京海智友知识产权代理事务所(普通合伙) 11455 | 代理人: | 吴京顺 |
地址: | 430000 湖北省武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本申请提供了一种晶圆检测方法,包括:利用参考图像建立缺陷模型,其中参考图像包含晶圆的缺陷信息;根据缺陷模型设定晶圆的图像的特征检测参数;根据特征检测参数对参考图像的缺陷类型进行检测,以训练缺陷模型;利用训练后的缺陷模型对晶圆的图像特征进行检测。通过上述方法可对晶圆进行全部检测,能够确认晶圆是否存在缺陷以及晶圆的缺陷类型,能够在一定程度上提高生产良率,降低人工成本。 | ||
搜索关键词: | 检测 方法 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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