[发明专利]晶圆的检测方法及系统在审

专利信息
申请号: 202110592570.4 申请日: 2021-05-28
公开(公告)号: CN113222967A 公开(公告)日: 2021-08-06
发明(设计)人: 谢真良;谭伟良;李诗琪;陈金星 申请(专利权)人: 长江存储科技有限责任公司
主分类号: G06T7/00 分类号: G06T7/00;G06K9/46;G06K9/62
代理公司: 北京海智友知识产权代理事务所(普通合伙) 11455 代理人: 吴京顺
地址: 430000 湖北省武*** 国省代码: 湖北;42
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 本申请提供了一种晶圆检测方法,包括:利用参考图像建立缺陷模型,其中参考图像包含晶圆的缺陷信息;根据缺陷模型设定晶圆的图像的特征检测参数;根据特征检测参数对参考图像的缺陷类型进行检测,以训练缺陷模型;利用训练后的缺陷模型对晶圆的图像特征进行检测。通过上述方法可对晶圆进行全部检测,能够确认晶圆是否存在缺陷以及晶圆的缺陷类型,能够在一定程度上提高生产良率,降低人工成本。
搜索关键词: 检测 方法 系统
【主权项】:
暂无信息
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