[发明专利]一种测量离子密度对相对介电常数影响的装置及测量方法有效
| 申请号： | 202110592735.8 | 申请日： | 2021-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN113311247B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 李海龙;师嘉豪;王彬;殷勇;蒙林;鲍敏 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01R27/26 | 分类号： | G01R27/26 |
| 代理公司： | 北京正华智诚专利代理事务所(普通合伙) 11870 | 代理人： | 李林合 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开一种测量离子密度对相对介电常数影响的装置及测量方法，包括主控装置、空心腔体结构、射频收发装置、电气控制装置以及真空控制装置，主控装置分别与真空控制装置以及电气控制装置连接，真空控制装置、射频收发装置、电气控制装置分别与空心腔体结构连接；真空控制装置与电气控制装置接收主控装置的控制信号，改变空心腔体内部状态，通过射频收发装置检测不同离子密度状态下等离子体信号功率，计算出相对介电常数，分析不同离子密度对入射信号相位的影响；本发明精确控制等离子体密度，在等离子体诊断中，将离子密度对等离子体介电常数纳入考虑，解决了无法测量离子密度对等离子体介电常数的影响的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 离子 密度 相对 介电常数 影响 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
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