[发明专利]一种氧化铌旋转溅射靶材的制备工艺在审
| 申请号： | 202110592776.7 | 申请日： | 2021-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN113355626A | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 石煜;田晓磊;盛明亮;李小龙 | 申请（专利权）人： | 芜湖映日科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C4/131 | 分类号： | C23C4/131;C23C4/08;C23C4/11;C23C4/16;C23C4/02;C23C4/18;C23C14/35;B24C1/00 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 杨静 |
| 地址： | 241009 安徽省芜湖市中国（安徽）自*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种氧化铌旋转溅射靶材的制备工艺，首先制备不锈钢背管，对不锈钢背管采用五氧化二铌粉末进行喷涂，在喷涂时向背管内通入冷水再缓慢加热至90℃，喷涂完成后，以1℃/min速度缓慢降低水温，工件转速同步降低，最后对靶材进行后处理加工。通过采用先通冷水，再缓慢加热至设定温度，大大减少了背管内应力的增加，减少靶材开裂异常，产品质量更加稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 旋转 溅射 制备 工艺 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法，例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理，例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
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