[发明专利]0.01μm高精度位移传感器及其精度调节方法在审
| 申请号： | 202110594018.9 | 申请日： | 2021-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN113188430A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 张华建 | 申请（专利权）人： | 萨妮精密仪器(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02 |
| 代理公司： | 南通一恒专利商标代理事务所(普通合伙) 32553 | 代理人： | 梁金娟 |
| 地址： | 201100 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种0.01μm高精度位移传感器，包括电容定极板、电容动极板、电容极板座、测量杆、弹簧和橡皮圈，电容极板座包括大径电容极板筒座和小径电容极板筒座，大径电容极板筒座的内侧设有两个前后设置的电容定极板，两个电容定极板的相邻端通过橡胶圈隔开；电容动极板滑动套装于电容定极板的内侧，电容动极板的右端绝缘连接有测量杆，位于小径电容极板筒座内的一段测量杆的外侧套装有弹簧；大径电容极板筒座的内侧设有印刷电路板，所述电容定极板、电容动极板和测量杆均与印刷电路板电性连接。本发明不再采用目前使用的光栅莫尔条纹技术，适当设计电容定极板和电容动极板的半径大小以及圆柱筒电容极板的长度，可以将精度进一步提高到0.001μm。 | ||
| 搜索关键词： | 0.01 高精度 位移 传感器 及其 精度 调节 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于萨妮精密仪器(上海)有限公司，未经萨妮精密仪器(上海)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110594018.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种定量补液装置
- 下一篇：一种复合型边坡加固结构
