[发明专利]一种二维材料制备方法有效
申请号: | 202110594133.6 | 申请日: | 2021-05-28 |
公开(公告)号: | CN113265647B | 公开(公告)日: | 2023-04-11 |
发明(设计)人: | 王佩剑;王亚哲;潘宝俊 | 申请(专利权)人: | 浙江大学杭州国际科创中心 |
主分类号: | C23C16/52 | 分类号: | C23C16/52;C23C16/458;C23C16/455;C23C16/30;C23C16/40;C23C16/06 |
代理公司: | 杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙) 33260 | 代理人: | 姚宇吉 |
地址: | 310000 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了一种二维材料制备方法,属于二维材料制备的技术领域,将前驱体置入石英管内,将生长衬底固定到石墨工件贯通扁槽内;载气以第一流速条件通入所述石英管并以第二流速条件通过石墨工件贯通扁槽,所述第一流速条件为石墨工件贯通扁槽外载气流速,所述第二流速条件为石墨工件贯通扁槽内载气流速,所述第一流速条件大于所述第二流速条件;通过控制第一流速条件和第一温度条件,使得石墨工件贯通扁槽内流场和温场相比石墨工件外在空间分布上更为均匀。使用本发明提供的二维材料制备方法可以在石墨工件贯通扁槽内获得面积较大且均匀生长的二维材料,且易于制备一些较少见、难长薄的二维材料和二维的非层状材料。 | ||
搜索关键词: | 一种 二维 材料 制备 方法 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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