[发明专利]一种结构光调制测微小角度的装置在审
申请号: | 202110596773.0 | 申请日: | 2021-05-31 |
公开(公告)号: | CN113218339A | 公开(公告)日: | 2021-08-06 |
发明(设计)人: | 李劲松;张浩然;苏衍峰 | 申请(专利权)人: | 中国计量大学 |
主分类号: | G01B11/26 | 分类号: | G01B11/26 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310018 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明提供一种结构光调制测微小角度的装置,包括:激光器、光阑、准直扩束器、分束镜、螺旋相位板、反射镜、电荷耦合器、计算机,其中:激光器出射光经光阑滤去杂光,再经准直扩束器到达分束镜1,并分为两束光,一束经螺旋相位板,到达分束镜2;另一束经两个反射镜(其中一个角度可调),也到达分束镜2,两束光发生干涉,条纹由电荷耦合器接收并传至计算机解算。两束光分别为涡旋光、平面光,具有较长相干长度,干涉形成叉形条纹,会随经过反射镜的光束到达分束镜2角度变化而改变,由电荷耦合器接收并通过计算机解算,根据全息干涉计量法得出光束改变的微小角度。本发明利用条纹变化测量光束改动的微小角度,结构简单,易于操作。 | ||
搜索关键词: | 一种 结构 调制 微小 角度 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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