[发明专利]一种二氧化硅平板光波导可调谐微环谐振器及其制备方法有效
| 申请号： | 202110597848.7 | 申请日： | 2021-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN113325518B | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 李悦;尹悦鑫;张大明;许馨如;丁颖智;姚梦可;曹至庚;陈长鸣 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G02B6/293 | 分类号： | G02B6/293 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 刘世纯;王恩远 |
| 地址： | 130012 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种超窄线宽的二氧化硅平板光波导可调谐微环谐振器及其制备方法，属于片上光互连网络技术领域。从下至上，由硅衬底、二氧化硅下包层、二氧化硅芯层波导、二氧化硅上包层和调制电极组成；二氧化硅芯层波导位于二氧化硅下包层和二氧化硅上包层之间，由微环谐振部分和可调谐耦合器部分组成。其中，微环谐振部分由第一弯曲波导、直波导和第二弯曲波导组成，形成跑道型结构；可调谐耦合器部分由第一3dB定向耦合器、第一调制臂、第二调制臂和第二3dB定向耦合器组成，形成MZI结构。本发明通过对可调谐耦合器调制臂正上方的调制电极施加电功率，改变耦合系数，达到临界耦合状态，从而实现超窄线宽、高消光比的微环谐振器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二氧化硅 平板 波导 调谐 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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