[发明专利]增强的颗粒沉积系统和方法有效
| 申请号： | 202110598072.0 | 申请日： | 2016-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN113264671B | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | D·M·斯特灵 | 申请（专利权）人： | ASI石英机械有限责任公司 |
| 主分类号： | C03B37/018 | 分类号： | C03B37/018;C03B37/027;C03C25/105;C03C25/285 |
| 代理公司： | 北京世峰知识产权代理有限公司 11713 | 代理人： | 王思琪;王建秀 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于将化学蒸气沉积至工件上的沉积系统，其包括具有用于在所述工件上进行化学气相沉积的多个部件的沉积室。所述工件由车床保持，所述车床使所述工件相对于在所述工件上沉积二氧化硅烟灰的化学燃烧器旋转。所述沉积系统具有用于调节进入所述沉积室中的气体和蒸气的流动的气体面板，以及用于控制所述气体面板和所述沉积室中的所述部件的操作的计算机。多组化学燃烧器沿所述工件的长度纵向布置。每组燃烧器与其它组分隔开，使得每组燃烧器将二氧化硅颗粒沉积至工件的一般不同的部分上。所述各个部分包括重叠区段，其中一组燃烧器中的一个或多个燃烧器与另一组燃烧器中的一个或多个燃烧器将二氧化硅颗粒沉积于所述工件的相同部分上。 | ||
| 搜索关键词： | 增强 颗粒 沉积 系统 方法 | ||
【主权项】：
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