[发明专利]超高纯铝的制备方法有效

专利信息
申请号: 202110600107.X 申请日: 2021-05-31
公开(公告)号: CN113416854B 公开(公告)日: 2022-06-28
发明(设计)人: 李清宇;何志达;朱刘;黄杰杰 申请(专利权)人: 广东先导微电子科技有限公司
主分类号: C22B21/06 分类号: C22B21/06;C22B9/05;C22B9/04;C22B9/02;B22D7/06
代理公司: 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 代理人: 张向琨
地址: 511517 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本公开提供了一种超高纯铝的制备方法,其包括步骤:步骤一,将铝锭进行真空蒸馏,降温后取出铝;步骤二,王水处理玻璃碳舟或氮化硼舟;步骤三,将步骤一所得到铝在高纯石墨坩埚内熔化后倒入玻璃碳舟或氮化硼舟内冷却得到铝锭,步骤四,用酸溶液腐蚀铝锭;步骤五,将铝锭放入区熔炉石英管内;步骤六,将惰性气体通入石英管内一段时间,关闭阀门,开启氢气阀门,将氢气通入石英管内;步骤七,打开加热器并调节温度;步骤八,加热器行至舟尾部时,停止加热,返回至原点,进行第二次区熔作业;步骤九,区熔完成后,停止加热,将铝锭取出,去铝锭的头尾;步骤十,将得到的铝产品按步骤四至步骤九再操作一次,其能获得MBE级别的6.5N超高纯铝。
搜索关键词: 高纯 制备 方法
【主权项】:
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