[发明专利]场效应管及其制造方法以及场效应管的工作方法在审
申请号: | 202110600728.8 | 申请日: | 2021-05-31 |
公开(公告)号: | CN113488538A | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
发明(设计)人: | 洪宾;王子岳;张帆;刘风光;陈磊;王燕;赵巍胜 | 申请(专利权)人: | 北京航空航天大学合肥创新研究院(北京航空航天大学合肥研究生院) |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/808;H01L29/24;H01L21/34 |
代理公司: | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人: | 张梦媚 |
地址: | 230013 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种场效应管及其制造方法以及场效应管的工作方法,该场效应管包括场效应管本体,其中,所述场效应管本体采用二氧化钒材料形成且其中掺杂有氢离子;栅极,所述栅极设于所述场效应管本体的上端面;源极以及漏极,所述源极设于所述场效应管本体的第一侧面,所述漏极设于所述场效应管本体的第二侧面,其中,所述第二侧面与所述第一侧面相对。本发明中的场效应管具有开关比更高、开关速度更快、功耗更低的优势,利于推动半导体器件的发展。 | ||
搜索关键词: | 场效应 及其 制造 方法 以及 工作 | ||
【主权项】:
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