[发明专利]曝光装置、平面显示器之制造方法、以及元件制造方法在审
| 申请号： | 202110601500.0 | 申请日： | 2016-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN113359395A | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 白户章仁 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01D5/38 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 侯天印;郝博 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种液晶曝光装置，对沿着XY平面移动之基板保持具(34)所保持之基板(P)，在基板保持具(34)往X轴方向之移动中经由光学系统(16)照射照明光，其具有：标尺(52)，根据基板保持具往X轴方向之移动而被测量；读头(66x、66y)，根据基板保持具往X轴方向之移动，一边相对标尺(52)往X轴方向相对移动一边测量标尺(52)；多个标尺(56)，根据基板保持具往Y轴方向之移动而被测量，配置于在X轴方向彼此不同之位置；以及多个读头(64x、64y)，对应标尺(56)之各个设置，且根据基板往Y轴方向之移动，一边相对标尺(56)往Y轴方向相对移动一边测量标尺(56)。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 平面 显示器 制造 方法 以及 元件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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