[发明专利]一种旋转偏振器件光谱椭偏仪的数据分析方法及系统有效
| 申请号： | 202110602165.6 | 申请日： | 2021-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN113281268B | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 谷洪刚;刘世元;王敬军;江浩 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G06F17/14 |
| 代理公司： | 武汉华之喻知识产权代理有限公司 42267 | 代理人： | 李君;李欢 |
| 地址： | 430074 *** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种旋转偏振器件光谱椭偏仪的数据分析方法及系统，属于精密光学测量仪器领域，方法包括：将各理论参数以及待测样件的预估膜厚输入至旋转偏振器件光谱椭偏仪的系统模型中，获取包含理论傅里叶系数的系统方程；采用旋转偏振器件光谱椭偏仪测量待测样件，获取包含测量傅里叶系数的系统方程；采用Hadamard分析方法，获取全光谱范围内的测量傅里叶系数和理论傅里叶系数；采用非线性迭代拟合方法对全光谱范围内的测量傅里叶系数和理论傅里叶系数进行拟合，获取待测样件的光学信息。本发明可一次测量得到全光谱范围内的待测样件光学信息，同时避免了由傅里叶系数转为椭偏参数拟合时造成的信息缺失和数据突变的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 偏振 器件 光谱 椭偏仪 数据 分析 方法 系统 | ||
【主权项】：
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