[发明专利]一种三维形貌精确控制加工系统及加工方法有效

专利信息
申请号: 202110603258.0 申请日: 2021-05-31
公开(公告)号: CN113319424B 公开(公告)日: 2022-07-08
发明(设计)人: 李明;李晨晨 申请(专利权)人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
主分类号: B23K26/0622 分类号: B23K26/0622;B23K26/046;B23K26/70
代理公司: 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 代理人: 郑丽红
地址: 710119 陕西省西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明提供一种三维形貌精确控制加工系统及加工方法,解决现有三维结构形貌及尺寸无法精密加工的问题。本发明系统和方法在激光加工头上设置共焦位移传感器,首先,通过共焦位移传感器高精度调整加工件的空间位置姿态,从而完成加工件的高精度定位和基准校正;其次,标定共焦位移传感器与激光焦点之间的相对位置,为后续激光扫描去除工件材料后的焦点跟随奠定基础;再次,通过共焦位移传感器测量各层激光扫描后的三维形貌,结合正交式逐层扫描和变单脉冲能量方式,可大幅提升底面形貌的粗糙度和加工深度控制精度。
搜索关键词: 一种 三维 形貌 精确 控制 加工 系统 方法
【主权项】:
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