[发明专利]一种积分均匀性补偿方法、补偿装置及光刻设备

摘要

本发明实施例公开了一种积分均匀性补偿方法、补偿装置及光刻设备。其中积分均匀性补偿方法包括：获取整个视场的光强数据；根据光强数据，计算光场的积分均匀性；根据积分均匀性，计算均匀性需求的第一补偿量；根据成像单元的成像关系，计算均匀性需求的第二补偿量；根据第一补偿量和第二补偿量计算补偿版的形貌；根据补偿版的形貌制备补偿版，并将补偿版插入曝光系统中进行积分均匀性补偿。本发明实施例提供的积分均匀性补偿方法可以简化补偿过程，确保积分均匀性补偿的可靠性，降低补偿成本，提高各拼接视场积分均匀性的一致性，确保各视场均在最佳积分均匀性下曝光，提高产品制造质量。