[发明专利]快门装置、曝光系统以及光刻机在审
| 申请号： | 202110605153.9 | 申请日： | 2021-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN115480454A | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 王彦飞;吴翔实;杨松 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 郑星 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种快门装置，包括遮光单元、运动执行单元、转接单元和开设有通光孔的罩壳单元，所述转接单元具有一斜面，所述运动执行单元安装在所述转接单元的斜面上，所述运动执行单元与所述遮光单元连接并带动所述遮光单元运动，当所述运动执行单元在断电时，由于所述运动执行单元重力的作用，安装在所述运动执行单元上的遮光单元可以自动闭合以达到遮住通光孔光路的目的，起到光刻机整机断电自动保护的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 快门 装置 曝光 系统 以及 光刻 | ||
【主权项】：
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