[发明专利]设有间隔物的旋转靶材绑定方法、计算机可读存储介质及绑定装置在审
| 申请号： | 202110605654.7 | 申请日： | 2021-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN113265637A | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 雷雨;周志宏;肖世洪;周昭宇;汪政军;刘芳 | 申请（专利权）人： | 广州市尤特新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;B22D19/04 |
| 代理公司： | 广州永华专利代理有限公司 44478 | 代理人： | 唐立辉 |
| 地址： | 510880 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种设有间隔物的旋转靶材绑定方法、靶材绑定装置以及计算机可读存储介质。该旋转靶材的去氧化物绑定方法自下而上地注入铟液，且在注入铟液前先将金属筛网伸入背管与靶管之间的间隙，利用金属筛网的表面刮擦背管外表面和靶管内表面，除去两者上的氧化铟层(或其他氧化物)，提升铟与靶材/背管的贴合率。其中，注铟完成后还将金属筛网装回间隙内，金属筛网的存在可以增加铟液连接层的导电导热性能，并且所需铟液较少，减少成本。 | ||
| 搜索关键词： | 设有 间隔 旋转 绑定 方法 计算机 可读 存储 介质 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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