[发明专利]一种旋转靶材的绑定密封结构在审
| 申请号： | 202110605681.4 | 申请日： | 2021-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN113136555A | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 雷雨;周志宏;肖世洪;周昭宇;汪政军;刘芳 | 申请（专利权）人： | 广州市尤特新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州永华专利代理有限公司 44478 | 代理人： | 唐立辉 |
| 地址： | 510880 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种旋转靶材的绑定密封结构。密封结构包括设在相邻两节靶管之间的间隙垫片，间隙垫片粘接上下两个靶管的端面，两节靶管外壁在该间隙处粘接一圈高温胶带，还包括粘接在高温胶带外周的导热金属片和围在金属片外的紧固层，金属片和紧固层一起通过卡箍固定在靶管外周。该旋转靶材的绑定密封结构对多节靶管之间的间隙进行密封处理，减少间隙内的氧含量，使得金属铟在绑定过程中不容易在空气中氧化，提升铟与靶材/背管的贴合率。两节靶管外壁的高温胶带外还粘接了导热金属片，然后才在金属片外设置紧固层，该金属片为绑定密封结构提供支撑，以免靶管受热变型导致密封失效，增强了密封性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 绑定 密封 结构 | ||
【主权项】：
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