[发明专利]一种基于铌酸锂薄膜的凹槽辅助式声光调制器有效
| 申请号： | 202110606401.1 | 申请日： | 2021-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN113419364B | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 黄冬梅;徐银;杨洋;程子豪;李锋;卫炳江 | 申请（专利权）人： | 香港理工大学深圳研究院;江南大学 |
| 主分类号： | G02F1/11 | 分类号： | G02F1/11;G02F1/125 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 朱阳波 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区粤海街道高新*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于铌酸锂薄膜的凹槽辅助式声光调制器，其中，所述声光调制器包括：铌酸锂薄膜层；设置于所述铌酸锂薄膜层上的铌酸锂薄膜波导和叉指换能器，其中，所述铌酸锂薄膜波导的顶部刻有凹槽。由于传统的基于铌酸锂薄膜设计的声光调制器中采用的光波导结构均为规则的条形波导，规则的条形波导基于表面声波产生的声光互作用效率不高，而本发明在铌酸锂薄膜波导的顶部刻有凹槽，可以增强铌酸锂薄膜波导基于表面声波产生的形变位移场与波导光学电磁场之间的相互作用，从而解决了现有声光调制器中声光互作用效率低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 铌酸锂 薄膜 凹槽 辅助 声光 调制器 | ||
【主权项】：
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