[发明专利]一种基于金属氧化物纳米纤维网络有源层的可拉伸薄膜晶体管及其制备方法有效
| 申请号： | 202110607211.1 | 申请日： | 2021-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN113471297B | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 刘岚;彭泽飞;陈松;王克文 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/06;H01L21/336 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 文静 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明属于可拉伸半导体领域，具体涉及一种基于金属氧化物纳米纤维网络有源层的可拉伸薄膜晶体管及其制备方法。该方法首先在玻璃片上制备Al |
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| 搜索关键词： | 一种 基于 金属 氧化物 纳米 纤维 网络 有源 拉伸 薄膜晶体管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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