[发明专利]激光辅助MPCVD法增强单晶金刚石SiV色心的应用及具有SiV色心的单晶金刚石有效
| 申请号： | 202110607629.2 | 申请日： | 2021-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN113337887B | 公开（公告）日： | 2023-01-06 |
| 发明（设计）人： | 陶涛;叶煜聪;路鑫宇;殷梓萌;郑凯文;邹幸洁;陈凯;胡文晓;刘斌 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | C30B25/16 | 分类号： | C30B25/16;C30B25/18;C30B25/20;C30B29/04 |
| 代理公司： | 江苏斐多律师事务所 32332 | 代理人： | 张佳妮 |
| 地址： | 210046 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了激光辅助MPCVD法增强单晶金刚石SiV色心的应用，以及具有SiV色心的单晶金刚石，其特征在于：所述SiV色心的形成系采用激光辅助MPCVD法在单晶金刚石衬底上生长硅掺杂的单晶金刚石而成。本发明方法采用激光辅助MPCVD法制备单晶金刚石，Si元素在制备过程中经等离子体辅助进入金刚石晶粒中，形成SiV发光中心，使单晶金刚石具有很强的SiV发光特性，该方法对设备要求较低、工艺简单、易于操作。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 辅助 mpcvd 增强 金刚石 siv 色心 应用 具有 | ||
【主权项】：
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