[发明专利]镀膜脆性材料的激光加工装置及其方法在审
| 申请号： | 202110608629.4 | 申请日： | 2021-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN113146072A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 赵裕兴;田超 | 申请（专利权）人： | 苏州德龙激光股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/064;B23K26/06;B23K26/067 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 王玉国 |
| 地址： | 215021 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及镀膜脆性材料的激光加工装置及方法，激光器的输出光路上依次布置有半波片和分光立方体；分光立方体的原方向出射的P光光路布置有第一反射镜、聚焦镜、第一衍射镜、第二反射镜，第二反射镜的反射光路与偏振分光合束镜相对；分光立方体的垂直方向出射的S光光路布置有第二衍射镜，第二衍射镜的输出光路与偏振分光合束镜相对；偏振分光合束镜的输出光路布置有物镜，物镜正对于加工平台。从偏振分光合束镜出射的P光实现成丝切割，从偏振分光合束镜出射的S光实现环形光斑刻蚀；通过转动半波片可以调节P光和S光的比例，调节刻蚀和成丝切割所需的激光能量；同时进行环形光斑刻蚀和成丝切割加工，为镀膜后的脆性材料切割提供集成解决方法。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 脆性 材料 激光 加工 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州德龙激光股份有限公司，未经苏州德龙激光股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110608629.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
